Periaatteena on käyttää epäkeskoroottoria tilavuuden muutoksen muodostamiseksi pumpun onteloon pyörimisen kautta kaasun poistamiseksi pumpusta. Pääsyynä on se, että imuprosessin aikana imuontelon tilavuus kasvaa, tyhjiöaste pienenee ja säiliössä oleva kaasu imeytyy pumpun onteloon. Poistoprosessissa tilavuus pienenee ja paine kasvaa, ja lopuksi imetty kaasu poistuu pumpusta öljytiivisteen kautta.

Ennen normaalia käyttöä tyhjiöpumppu tulee testata koekäyttöä varten sen tarkistamiseksi, onko tyhjiöpumpussa epänormaalia tärinää ja iskumelua. Ensimmäistä kertaa käytetylle tyhjiöpumpulle tulee myös mitata tyhjiöpumpun murtopaine, jonka tulee täyttää tekniset vaatimukset. Pitkäaikaisissa työolosuhteissa tyhjiöpumpun lämpötila ei saa ylittää 70 astetta. Mitä tulee pumppausnopeuden määrittämiseen, sitä ei yleensä tarkisteta sen monimutkaisuuden vuoksi.

Mekaaninen tyhjiöpumppu, joka vaatii jäähdytysvettä. Jäähdytysvesi tulee laskea läpi ennen käynnistystä ja sitten käynnistää. Jäähdytysveden ulostulolämpötila ei saa ylittää 30 astetta.